TEMC·포스코와 국산화 성공 후 비중 지속 확대
식각공정용 크립톤(Kr)과 제논(Xe) 가스도 국산화 추진 SK하이닉스가 국제적인 가격 급등과 수급난 상태인 네온가스를 국산화하는데 성공했다.
반도체의 필수 원료인 네온가스는 지금까지 전량 수입에 의존해 온 품목이다. 주요 수입국인 러시아와 우크라이나가 전쟁을 시작한 후론 전세계적으로 가격까지 급등, 기업들을 힘들게 했다.
SK하이닉스는 국내 업계 최초로 '네온(Ne) 가스' 국산화에 성공하고 국산의 공정 도입 비중도 40%까지 확대했다고 5일 밝혔다. 이를 통해 안정적으로 네온을 수급하고 구매 비용도 큰 폭으로 절감할 수 있게 됐다는 설명이다.
SK하이닉스는 2024년까지 네온 국산화 비중을 100%로 확대할 계획이다.
네온은 반도체 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser Gas)의 주재료다. 엑시머 레이저 가스는 매우 짧은 파장의 자외선인 엑시머 레이저를 발생시키고 이는 반도체의 재료인 웨이퍼 위에 미세한 회로를 새길 때 쓰인다.
엑시머 레이저 가스 성분의 95%가 네온이다. 하지만 네온은 공기 중에 0.00182% 밖에 존재하지 않는 희귀자원이다. 공기 중에 있는 네온을 채취하려면 대규모 ASU플랜트(Air Separate Unit: 공기 분리 장치)가 필요하고 초기 투자 비용도 많이 발생한다.
SK하이닉스는 협력사인 TEMC 및 포스코와 합리적인 국산화 방법을 모색해 왔다. SK하이닉스와 TEMC, 포스코는 기존 설비를 활용, 적은 비용으로 네온 생산 기술을 개발했고 SK하이닉스가 생산된 네온을 평가하고 검증하는 방식으로 최종 국산화에 성공했다.
국산 네온은 포스코에서 생산된 후 TEMC의 가공을 거쳐 최우선으로 SK하이닉스에 공급되고 있다.
식각공정용 크립톤(Kr)과 제논(Xe) 가스도 국산화 추진
SK하이닉스는 내년 6월까지 식각공정(노광공정을 거친 웨이퍼의 회로 중 불필요한 부분을 깎아내는 공정)에 쓰이는 크립톤(Kr)과 제논(Xe) 가스도 국산화해 원자재 수급 리스크를 최소화할 방침이다.
SK하이닉스 FAB원자재구매담당 윤홍성 부사장은 "불안정한 국제정세와 공급 불안정 상황에서도 국내 협력사와의 협업으로 수급 안정화에 기여한 사례"라며 "지속적인 협력으로 반도체 원재료 공급망을 강화할 계획"이라고 밝혔다.
KPI뉴스 / 김윤경 기자 yoon@kpinews.kr
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