내년부터 신규 설비 운영
글로벌 산업용 가스 기업 린데(Linde)가 삼성전자에 대한 산업용 가스 공급을 대폭 확대한다.
지난 29일 린데는 삼성전자 평택 반도체 단지에 초고순도 대기성 가스, 공정용 가스 및 특수 가스 공급을 확대하기로 했다고 밝혔다.
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| ▲린데가 운영 중인 산업용 가스 공급 설비. [린데 제공] |
린데는 이를 위해 평택에 새로운 공기 분리장치(Air separation unit)를 설치하고, 내년부터 직접 운영할 계획이다.
공기 분리장치는 대기를 냉각해 질소, 산소, 아르곤 등을 분리·추출하는 설비로, 반도체 공정에서 필수적인 고순도 가스를 안정적으로 공급하는 역할을 한다.
또한, 린데는 기존 시설을 활용해 수소도 지속적으로 공급할 예정이다.
린데는 현재도 삼성 평택 단지의 주요 산업용 가스 공급업체로 활동하고 있다. 평택은 린데가 전자 기업을 대상으로 운영 중인 최대 규모의 가스 공급 거점으로 알려져 있다.
성백석 린데코리아 대표는 "린데의 첨단 기술은 반도체 제조에 필요한 고순도 요건을 충족하도록 설계되었다. 앞으로도 혁신적인 솔루션을 제공해, 세계 최고 수준의 반도체 생산시설을 뒷받침하겠다"고 말했다.
아일랜드에 본사를 둔 린데는 굴지의 산업용 가스 기업이다. 한국 수소 시장의 성장성을 높게 평가해 린데코리아를 운영 중이다.
KPI뉴스 / 박철응·김태규 기자 hero@kpinews.kr
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