'21년부터 5년간 총 2400억 원 투자
1만6000평 부지에 노광장비 재제조센터 등 건립 세계적 반도체 장비 기업인 네델란드의 ASML이 16일 경기도 화성에 반도체 클러스터 구축을 위한 첫 삽을 뜬다.
산업통상자원부는 16일 경기도 화성에서 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML사의 '화성 뉴 캠퍼스(New Campus)' 기공식을 개최한다고 15일 밝혔다.
ASML은 노광장비 전문 기업으로 반도체 기업들이 초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점적으로 생산하여 공급한다. 반도체 장비 기업 중에선 시가총액이 세계 최고다. 노광장비 시장에서도 점유율 1위다.
노광공정은 미세하고 복잡한 전자회로를 반도체 웨이퍼에 그려 넣는 기술이다. 극자외선(EUV) 노광장비를 활용하면 짧은 파장으로 세밀하게 회로를 그릴 수 있다.
시장조사업체 가트너에 따르면 반도체 장비 시장 점유율은 미국 어플라이드머티리얼즈가 18.6%로 1위, 네덜란드 ASML이 18.1%로 2위다. 미국 램리서치와 일본 도쿄일렉트론은 점유율 15%, 13.4%로 각각 3, 4위다.
ASML은 '21년부터 5년간 총 2400억 원을 투자해 경기도 화성 1만6000평 규모 부지에 뉴 캠퍼스(New Campus)를 건립할 예정이다.
뉴 캠퍼스에는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련 부품 등의 재(再)제조센터와 첨단기술 전수를 위한 트레이닝 센터, 체험관 등이 들어선다.
산업부는 이들 시설의 한국 유치를 위해 '20년부터 경기도, 화성시, KOTRA 등과 협력해 ASML사와 협의해 왔다. 지난해 11월에는 관계기관간에 'ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약'도 체결된 바 있다.
올해에는 이재용 삼성전자 회장이 지난 6월 유럽 출장 당시 ASML 본사를 방문해 베닝크 CEO 등 ASML 경영진을 만난 바 있다. 10월에는 산업부 문동민 무역투자실장이 네덜란드 본사를 방문, 추가적인 투자유치 협의를 계속해 왔다.
산업부는 이번 화성 뉴 캠퍼스 조성으로 국내 반도체 기업들의 장비 수급과 반도체 생산 능력에 큰 도움이 될 것으로 기대하고 있다. ASML과 국내 반도체 기업과의 협력이 더욱 긴밀해지고 EUV 노광장비 등 첨단장비 관련 소재·부품의 공급망도 한층 강화될 것이란 전망이다.
16일 기공식 참석차 한국을 방문한 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML 최고경영자(CEO)는 15일 인터컨티넨탈 서울 코엑스에서 "성장 산업에서 (사업을) 확대할 필요가 있어 이번 투자를 진행했다"며 "앞으로 한국에서의 사업도 확장할 예정"이라고 밝혔다.
그는 "경기도 화성에 건립할 반도체 클러스터 뉴 캠퍼스를 통해 한국 반도체 기업과의 시너지를 기대한다"고도 강조했다.
피터 베닝크 CEO는 이번 방한 기간 동안 이재용 삼성전자 회장과도 만나 협력 방안을 논의할 전망이다.
한편 16일 뉴 캠퍼스 기공식에는 피터 베닝크 CEO와 산업부 문동민 실장을 비롯, 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 이원욱 국회의원(경기화성을), 주요 기업 등 관계자 160여 명이 참석한다.
KPI뉴스 / 김윤경 기자 yoon@kpinews.kr
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