KPI뉴스 - 삼성전자, D램 생산에 EUV 첫 적용…모듈 100만개 공급

  • 맑음정선군3.0℃
  • 맑음원주7.3℃
  • 맑음합천6.3℃
  • 맑음상주8.0℃
  • 구름많음서산9.8℃
  • 맑음북춘천5.5℃
  • 맑음통영10.4℃
  • 맑음보은4.0℃
  • 맑음동두천7.5℃
  • 맑음울릉도12.3℃
  • 맑음북창원10.8℃
  • 맑음서귀포11.3℃
  • 맑음고흥5.1℃
  • 맑음서청주5.7℃
  • 맑음양평7.3℃
  • 맑음철원5.1℃
  • 맑음북강릉11.5℃
  • 맑음울산9.2℃
  • 맑음남원4.9℃
  • 맑음청송군2.8℃
  • 맑음남해9.8℃
  • 맑음백령도12.3℃
  • 맑음장흥5.4℃
  • 맑음목포9.7℃
  • 맑음구미7.2℃
  • 맑음보령8.8℃
  • 맑음속초15.5℃
  • 맑음북부산8.4℃
  • 맑음수원6.6℃
  • 맑음밀양8.2℃
  • 맑음인제5.0℃
  • 맑음세종6.7℃
  • 맑음산청4.6℃
  • 맑음울진11.1℃
  • 맑음제천2.9℃
  • 박무인천10.3℃
  • 맑음순천3.2℃
  • 맑음부안7.2℃
  • 맑음대관령4.1℃
  • 맑음군산7.6℃
  • 맑음추풍령6.4℃
  • 맑음안동7.4℃
  • 맑음대구8.2℃
  • 맑음충주4.6℃
  • 맑음창원11.9℃
  • 맑음영월4.5℃
  • 맑음성산9.7℃
  • 맑음영광군5.4℃
  • 맑음춘천5.6℃
  • 맑음파주8.1℃
  • 맑음보성군7.0℃
  • 맑음포항10.5℃
  • 박무홍성7.5℃
  • 맑음대전8.5℃
  • 맑음김해시10.7℃
  • 맑음양산시9.1℃
  • 맑음이천7.3℃
  • 맑음영덕9.8℃
  • 맑음흑산도9.5℃
  • 맑음임실3.8℃
  • 맑음서울9.8℃
  • 맑음고창군5.5℃
  • 맑음문경5.0℃
  • 맑음광주8.7℃
  • 맑음영주4.8℃
  • 맑음금산4.5℃
  • 맑음순창군5.2℃
  • 맑음진도군5.5℃
  • 맑음광양시8.0℃
  • 맑음제주10.6℃
  • 맑음전주7.2℃
  • 맑음천안4.1℃
  • 맑음태백5.9℃
  • 맑음동해12.1℃
  • 맑음의령군4.1℃
  • 맑음함양군2.7℃
  • 맑음강릉14.8℃
  • 맑음정읍5.2℃
  • 맑음고산11.8℃
  • 흐림부여6.8℃
  • 맑음해남4.6℃
  • 맑음장수2.1℃
  • 맑음청주9.8℃
  • 맑음강화7.1℃
  • 맑음봉화2.3℃
  • 맑음여수11.2℃
  • 맑음의성3.6℃
  • 맑음거제9.7℃
  • 맑음부산12.9℃
  • 맑음완도8.4℃
  • 맑음고창5.3℃
  • 맑음경주시6.1℃
  • 맑음진주4.6℃
  • 맑음영천5.5℃
  • 맑음홍천5.9℃
  • 맑음거창2.8℃
  • 맑음강진군6.6℃

삼성전자, D램 생산에 EUV 첫 적용…모듈 100만개 공급

임민철
기사승인 : 2020-03-25 09:54:07
'생산성 2배' 4세대 D램 양산 기술 개발 중…내년 DDR5 D램 양산 삼성전자가 업계 최초로 D램 반도체 대량생산 공정에 극자외선(EUV) 노광 기술을 적용, 1세대 10나노급 D램 모듈 100만 개 이상을 생산해 글로벌 시장에 시범 공급했다.

▲ 삼성전자가 업계 최초로 D램 반도체 양산 공정에 EUV 노광 기술을 적용했다고 25일 밝혔다. 사진은 EUV 전용 라인을 갖춘 화성사업장. [삼성전자 제공]

25일 삼성전자는 EUV 공정을 적용해 생산한 1세대 10나노급(1x) DDR4 D램 모듈 100만 개 이상을 글로벌 고객사에 공급해 평가를 완료했다고 밝혔다.

삼성전자는 EUV 공정을 향후 출시할 4세대 10나노급 D램부터 전면 적용하기 위한 양산기술을 개발하고 있으며 5·6세대 D램에도 확대 적용할 계획이다. 삼성은 4세대 D램 양산 기술로 1세대 D램 대비 12인치 웨이퍼당 생산성을 2배로 높일 수 있을 것으로 기대하고 있다.

삼성전자는 향후 차세대 제품의 품질과 수율도 기존 공정 제품 이상으로 향상시킬 예정이다.

삼성전자는 내년 성능과 용량을 더 높인 4세대 10나노급 DDR5·LPDDR5 D램을 양산한다. 이에 맞춰 글로벌 IT고객과 기술협력을 강화하고 표준화 활동을 추진해 차세대시스템에서 신제품 탑재 비중을 높여 나간다.

5세대, 6세대 D램도 선행 개발해 프리미엄 메모리 시장에서 기술 리더십을 더 강화한다.

이정배 삼성전자 메모리사업부 DRAM개발실 부사장은 "업계 최초로 EUV 공정을 D램 양산에 적용해 글로벌 고객들에게 더욱 차별화된 솔루션을 한발 앞서 제공할 수 있게 됐다"며 "내년에도 혁신적인 메모리 기술로 차세대 제품을 선행 개발해 글로벌 IT 시장이 지속적으로 성장하는데 기여할 것"이라고 말했다.

삼성전자는 올해 하반기 경기도 평택 반도체 공장에 신규 라인을 가동해 증가하는 차세대 프리미엄 D램 수요에 대응할 수 있는 양산 체제를 구축할 계획이다.

KPI뉴스 / 임민철 기자 imc@kpinews.kr

[저작권자ⓒ KPI뉴스. 무단전재-재배포 금지]