세계 3대 반도체 장비 기업 램리서치는 지곡산단 조성 세계적 반도체 기업들이 속속 용인 'L자형' 반도체 벨트에 보금자리를 틀며 'L자형' 반도체 벨트가 글로벌 반도체 밸리로 자리잡아 가고 있다.
용인시는 세계 6위, 국내 1위 규모의 반도체 장비 제조 업체인 세메스㈜가 '기흥미래 도시첨단산업단지계획 승인 신청'을 접수했다고 13일 밝혔다.
세메스㈜가 2026년 준공을 목표로 용인시 기흥구 고매동 일원에 조성하는 기흥미래 도시첨단산단은, 민선 8기 핵심 사업인 L자형 반도체 벨트의 허리 부분이다.
반도체 벨트는 기흥구 용인플랫폼시티부터 삼성반도체 기흥캠퍼스를 거쳐 지곡 일반산단, 통삼 일반산단, 용인테크노밸리, 제2용인테크노밸리, 원삼면 용인반도체클러스터까지 이어지는 구역이다.
이 가운데 지곡산단에 지난 4월 반도체 최첨단 연구개발(R&D) 시설인 '램리서치 코리아테크놀로지센터(KTC)'가 개관했다. 램리서치는 세계 3대 반도체 장비 기업으로 '식각의 제왕'으로 불린다.
식각은 반도체용 웨이퍼에 액체나 기체 부식액을 이용해 불필요한 부분을 제거하는 공정으로, 램리서치의 글로벌 점유율은 50%에 달한다. 램리서치의 글로벌 R&D 네트워크의 주요 거점으로 활용될 KTC는 3만㎡ 규모로 최첨단 클린룸이 들어서며 박사급 과학자와 엔지니어 등 100여 명이 근무한다.
서플러스글로벌은 지난 6일 통삼산업단지에 연면적 6만 8402㎡ 규모의 반도체 중고 장비 유통 단지(Cluster)를 준공했다. 서플러스글로벌은 반도체 중고 장비 유통 분야의 세계 1위 기업이다. 유통뿐 아니라 반도체 전공정·후공정도 직접 영위하는 글로벌 기업이다.
이런 상황에서 세메스㈜가 산업단지 조성에 나선 것이다. 세메스는 사업비 2083억 원을 들여 9만 4442㎡(2만 8569평) 규모로 산단을 조성하며, 산단에 반도체 설비 개발과 반도체 장비 국산화를 위한 R&D센터를 건립할 예정이다.
이를 위해 용인시는 지난해 8월 세메스㈜와 R&D센터 건립을 위한 업무협약을 체결하고 관련 절차를 진행해 왔다. 산단은 관련 부서 협의 및 경기도 산업단지계획심의를 거쳐 시가 최종 승인한다.
용인시 관계자는 "기흥미래 도시첨단산단으로 L자형 반도체 벨트가 글로벌 반도체 밸리로 점점 제 모양새를 갖춰가고 있다"면서 "산업단지 조성사업이 적기에 마무리될 수 있도록 적극 지원하겠다"고 말했다.
KPI뉴스 / 김영석 기자 lovetupa@kpinews.kr
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